Influence of bias voltage on structure, mechanical and corrosion properties of reactively sputtered nanocrystalline TiN films

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钢铁研究学报（英文版） ›› 2017, Vol. 24 ›› Issue (12) : 1223-1230.

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Influence of bias voltage on structure, mechanical and corrosion properties of reactively sputtered nanocrystalline TiN films

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