半导体设备用超高纯316L不锈钢夹杂物控制水平解析

高占江, 翁建寅, 骆辉, 罗学武, 徐翔宇, 付建勋

中国冶金 ›› 2025, Vol. 35 ›› Issue (2) : 23-35.

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中国冶金 ›› 2025, Vol. 35 ›› Issue (2) : 23-35. DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1006-9356.20240638
专题研究

半导体设备用超高纯316L不锈钢夹杂物控制水平解析

    {{javascript:window.custom_author_cn_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_CN}}
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Analysis of inclusion control levels in ultra-high purity 316L stainless steel for semiconductor equipment

    {{javascript:window.custom_author_en_index=0;}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
  • {{article.zuoZhe_EN}}
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{{article.keyPoints_cn}}

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{{article.keyPoints_en}}

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{{article.zhaiyao_cn}}

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{{article.zhaiyao_en}}

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2025, 35(2): 23-35 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1006-9356.20240638
{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2025, 35(2): 23-35 https://doi.org/10.13228/j.boyuan.issn1006-9356.20240638
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{{article.reference}}

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{{article.copyrightLicense_cn}}
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