工艺参数对非平衡磁控溅射Ti/TiN/Ti(C,N)薄膜硬度的影响

张以忱;吴宇峰;巴德纯;马胜歌

钢铁研究学报 ›› 2007, Vol. 19 ›› Issue (7) : 50-0.

钢铁研究学报 ›› 2007, Vol. 19 ›› Issue (7) : 50-0.
材料研究

工艺参数对非平衡磁控溅射Ti/TiN/Ti(C,N)薄膜硬度的影响

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Influence of Processing Parameters on Hardness of Ti/TiN/Ti(C,N) Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering Technology

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