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ISSN 1001-0777
CN 11-2119/O4
中国钢铁工业协会 主管
中国钢研科技集团有限公司 主办
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TiN薄膜表面离子注入层微观结构的分析研究
郭德亮 陶冶 胡智杰 梁旺胜
Study on the Microstructure of the Implanted TiN Films
GUO De-Liang Ye TAO HU Zhi-Jie LIANG Wang-Sheng
中国钢铁期刊网 . 2011, (
1
): 13 -13 .
