衬底温度对CVD金刚石薄膜织构的影响

衬底温度对CVD金刚石薄膜织构的影响

朱宏喜,，顾超，薛永栋，任凤章,

Effect of Substrate Temperature on Texture of CVD Diamond Film

ZHU Hong-xi1,2，GU Chao1，XUE Yong-dong3，REN Feng-zhang1,2

中国钢铁期刊网 . 2011, (4): 10 -13 .