同步辐射掠入射X射线衍射法

研究TiAlN薄膜离子注入层的微观结构梁旺胜,陶冶,刘红亮

物理测试 ›› 2011, Vol. 29 ›› Issue (2) : 5-9.

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试验研究

同步辐射掠入射X射线衍射法

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Study on Implanted TiAlN Films by Synchrotron Radiation Grazing Incident XRay Diffraction

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